распыление атомов

См. также в других словарях:

• РАСПЫЛЕНИЕ — твёрдых тел разрушение твёрдых тел под действием бомбардировки их поверхности заряженными и нейтральными частицами (атомами, ионами, нейтронами, электронами и др.) и фотонами. Впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде (отсюда… …   Физическая энциклопедия

• Катодное распыление —         ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами.… …   Большая советская энциклопедия

• Магнетронное распыление — Магнетронное распыление  это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью магнетрона. Основы технологии Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью катода кольцеобразной плазмы в результате… …   Википедия

• КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы… …   Физическая энциклопедия

• Tescan — Tescan, a.s. Год основания 1991 Расположение …   Википедия

• ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ — раздел электронной спектроскопии, методы к рого основаны на измерении энергии и интенсивности токов оже электронов, эмиттированных из атомов, молекул и тв. тел при оже эффекте. Энергия оже электронов определяется природой испускающих их атомов и… …   Физическая энциклопедия

• РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ — структурные повреждения, образующиеся при облучении тв. тел потоками ч ц и жёстким электромагн. (гамма и рентгеновским) излучением. Переданная тв. телу энергия расходуется (частично) на разрыв межатомных связей. Для образования простейшего Р. д.… …   Физическая энциклопедия

• СПЕКТРАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ — физич. методы качеств. .и количеств. определения состава в ва, основанные на получении и исследовании его спектров. Основа С. а. спектроскопия атомов и молекул, его классифицируют по целям анализа и типам спектров. Атомный С. а. (АСА) определяет… …   Физическая энциклопедия

• ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… …   Физическая энциклопедия

• ИОННЫЙ ИСТОЧНИК — устройство для получения в вакууме направленных ионных потоков (пучков). И. и. важная часть ускорителей заряж. ч ц, масс спектрометров, ионных микроскопов, установок для термояд. синтеза и разделения изотопов и мн. др. устройств. В И. и.… …   Физическая энциклопедия

• НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники …   Химическая энциклопедия